Vaakumpumpade kasutamine pooljuhtplaatide kuubikuteks lõikamisel ja pakkimisel
Pooljuhtide tootmise{0}}tagajärgus tuleb vahvlid lõigata üksikuteks kiibideks ja seejärel pakkida. Vaakumtehnoloogia mängib selles protsessis kriitilist rolli.
Vahvli kuubikuteks lõikamine
Kuubikuteks lõikamise käigus adsorbeerub vahvel kindlalt kuubikuteks tükeldamismasina padrunile. Täpne-vaakumpumbasüsteem tagab stabiilse ja ühtlase adsorptsioonijõu, tagades, et üliõhuke ja habras plaat ei nihku ega vibreeri suurel-kiire lõikamise ajal. See on oluline kuubikute lõikamise täpsuse säilitamiseks, laastude lõhenemise või lõhenemise vältimiseks ning lõppsaagi otseseks parandamiseks.
Die Kinnita
Pakkimisprotsessi stantside kinnitamise etapis kasutavad vaakumdüüsid vaakumimemist, et korjata täpselt üles üksikud eraldatud stantsid ja asetada need täpselt juhtraamile või substraadile. Vaakumpumba kiire reageerimine ja stabiilne haardejõud tagavad täpse ja tõhusa töö, vältides laastude kahjustamist või valesti paigutamist.
Tehnilised nõuded
See rakendusstsenaarium nõuab, et vaakumpump peab olema väga töökindel, õlivaba -(et vältida tundlike laastude pindade saastumist), madala vibratsiooniga ning stabiilse pumpamiskiiruse ja ülima vaakumitasemega.
